1、定義
鈦管靶是一種中空圓柱形鈦金屬材料，專為旋轉陰極濺射鍍膜設計，通過高速旋轉（通常200-500 rpm）實現靶材表面均勻刻蝕，提升材料利用率（可達80%以上，而平面靶僅40-60%）。
2、性能特點
| 特性 | 數值/描述 | 優勢 |
| 濺射均勻性 | 膜厚偏差≤±3% (對比平面靶±8%) | 適合大面積連續鍍膜（如卷繞式鍍膜生產線） |
| 散熱效率 | 水冷系統接觸面積增加50% | 支持高功率濺射（10-15 kW） |
| 材料利用率 | 80-90% (平面靶40-60%) | 降低單次鍍膜成本 |
| 機械強度 | 壁厚≥5mm時抗彎強度≥300 MPa | 可承受高速旋轉離心力 |
3、常用材質牌號
| 標準體系 | 牌號 | 純度要求 | 適用場景 |
| ASTM | Grade 2 | ≥99.7% Ti | 常規裝飾鍍膜、工具涂層 |
| GB/T 3620.1 | TA1 | ≥99.9% Ti | 光學鍍膜、半導體封裝 |
| JIS H 4650 | TP340 | ≥99.8% Ti | 顯示面板ITO導電層 |
| 特殊高純 | Ti-5N | 99.999% Ti | EUV光刻機反射鏡鍍膜 |
4、執行標準
國際標準：
ASTM B338: 鈦及鈦合金無縫管（規定尺寸公差±0.1mm）
ISO 5832-2: 外科植入物用鈦材（適用于醫療鍍膜靶材）
中國標準：
GB/T 3624: 鈦及鈦合金管材（壁厚公差±10%）
GB/T 5193: 濺射靶材晶粒度要求（晶粒尺寸≤50 μm）
5、應用領域
| 領域 | 具體應用 | 性能要求 |
| 顯示面板 | OLED陽極層、TFT導電層 | 純度≥99.95%，氧含量<500 ppm |
| 光伏產業 | 薄膜太陽能電池背電極 | 厚度均勻性CV≤2% |
| 醫療器械 | 人工關節抗菌涂層 | 符合ISO 10993生物相容性標準 |
| 汽車玻璃 | 隔熱Low-E膜 | 耐高溫循環（-30~300℃） |
6、與其他鈦靶類型的區別
| 參數 | 鈦管靶 | 鈦板靶 | 鈦靶塊（柱狀靶） |
| 形狀 | 空心圓柱（Φ50-500mm×L≤3m） | 平面矩形/圓形 | 實心圓柱/立方體 |
| 濺射方式 | 旋轉陰極（動態鍍膜） | 固定陰極（靜態鍍膜） | 磁控掃描濺射 |
| 材料利用率 | 80-90% | 40-60% | 50-70% |
| 典型應用 | 卷繞式連續鍍膜 | 小面積精密鍍膜 | 高功率脈沖濺射（HiPIMS） |
| 成本 | 高（需精密離心鑄造） | 中 | 低 |
7、選購方法
尺寸匹配：
內徑需與旋轉陰極軸公差配合（推薦H7/g6間隙配合）
長度根據鍍膜腔室尺寸選擇（常見1-2.5m）
純度驗證：
要求提供GDMS報告（重點關注Al≤50 ppm、Fe≤100 ppm）
結構檢測：
超聲波探傷（UT）檢測壁厚均勻性（偏差≤±0.2mm）
EBSD分析晶粒取向（擇優取向（002）面占比≥60%）
供應商資質：
需具備真空自耗電弧爐（VAR）+冷軋（Pilger Mill）生產線
8、注意事項
安裝精度：
同心度偏差≤0.05mm/m，防止旋轉振動導致膜層波紋
冷卻系統：
水溫需控制在15-25℃，流量≥20 L/min（避免靶材過熱變形）
壽命管理：
當壁厚磨損至原始值50%（如初始10mm剩5mm）時需更換
安全規范：
鈦粉塵爆炸濃度下限為45 g/m3，加工區需配備NFPA 68標準防爆系統
鈦管靶憑借其高材料利用率和均勻鍍膜特性，在顯示面板（如G10.5代線需Φ450×2500mm靶管）和光伏領域占據主導地位。相比鈦板靶，其采購成本高約30%，但綜合鍍膜效率提升50%以上。特殊應用（如EUV鍍膜）需選擇單晶鈦管靶（晶向偏差<1°），并配合離子束輔助沉積（IBAD）工藝，實現膜層表面粗糙度<0.2 nm。
